在微電子用潔凈室、藥品生產用潔凈室中，常常在產品生產過程中使用或產生，各種酸性和堿性物質、有機溶劑和一般氣體、特種氣體；在致敏性藥物、某些甾體藥物、高活性、有毒性藥物生產過程還會有相應的有害物質排出或泄漏入潔凈室內，為此對于上述產品生產用潔凈室內可能排出各種有害物質、氣體或粉塵的生產工藝設備或工序設置局部排風裝置或全室排風裝置，按生產工藝過程排出的廢氣的類型可將排風裝置（系統）大體劃分為下列幾種類型。
一般排風系統
這是指在生產輔助用室、生活用室，如值班室、衛生間等排出的一般廢氣，大多數情況下不需要進行特殊處理即可直接排入大氣。
有機氣體排風系統
在產品生產中使用各類有機物質、溶劑作為原輔材料或清洗劑時，都將會在相關的場所或設備處散發有機物質、溶劑的氣體，對這類場所或設備均應設置排風裝置。在一般情況下，有機排風系統中的有機氣體濃度是很低的，若能達到國家標準規定的大氣排放標準時可直接排入大氣，不需設置廢氣處理裝置；當排風系統中有機氣體濃度超過規定時，應設有機氣體處理裝置，經過處理達標后才能排入大氣。有機排氣的凈化處理有活性炭吸附法、液體吸收法和催化燃燒法等，活性炭吸附注主要用于中小流量的不含粉塵、膠粘物質的苯類、汽油類有機排氣的處理；液體吸收法，設備簡單、耗能低，但吸收效率不高；催化燃燒法主要用于較高濃度的苯類、醇類、脂類、汽油等有機排氣的處理。有機氣體處理裝置應根據排風系統所含有機物質的品種、濃度情況選用相應的處理設備。
酸性氣體排風系統
在產品生產中的濕法化學腐蝕、酸液清洗、實驗室內均有酸性氣體排出，在這類酸性氣體的排風系統通常設置溫式洗氣吸收塔，處理后排入大氣。實際設計時應根據酸性氣體的類型、濃度選用合適的吸收液和吸收塔的形式。
堿性氣體排風系統
在排風系統氣體中含有堿性物質或在排氣中混入堿性化學試劑，與酸性氣體排風系統類似，通常采用濕式洗氣吸收塔處理后排入大氣。近年來，由于大氣排放標準越來越嚴格，需對含有堿性物質（或酸性物質）濃度較低的排氣也應進行凈化處理才能達到排放標準，為此可采用專用吸附劑對堿性排氣（或酸性排氣）進行處理達標后才能排入大氣，此種吸附劑一般為一次性的，使用后應進行集中處理，通常作為固體廢棄物由城市垃圾處理場集中處理。
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