微電子潔凈車間布局原則
微電子潔凈車間布局原則
流程分離：避免不同工藝步驟之間的交叉污染，確保產品的質量和一致性。
空間分隔：準潔凈區要求次高的潔凈度，用于次要的工藝步驟。非潔凈區則不要求潔凈度，用于非關鍵的工藝步驟或設備維護等。
氣流控制：通常采用正壓或負壓控制，通過空氣過濾系統、氣流調節和排風系統實現。
人員流動控制：采取適當的人員行為控制措施，如穿戴潔凈服、戴口罩、戴手套等，以防止人員對環境的污染。
設備布置：設備之間應保持適當的間距，以便于操作、維護和清潔。同時，設備應與空氣過濾系統和氣流控制系統協調配合，確保潔凈度要求的達到。
材料選擇：具有抗靜電、易清潔、低揮發性等特性。避免使用會產生粉塵、顆粒或有害物質的材料，以減少污染源。
監測和驗證：用于監測空氣質量、潔凈度、溫濕度等參數，并進行定期驗證。這樣可以及時發現問題并采取措施進行調整和改進。
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