微電子潔凈車間注意事項
微電子潔凈車間注意事項
材料選擇：選擇符合潔凈要求的材料，如防靜電地板、抗菌墻面材料、無塵無纖維的天花板等。避免使用會產生粉塵、顆粒或有害物質的材料，以減少污染源。
靜電控制：靜電會對微電子制造過程產生不利影響，因此需要采取靜電控制措施。選擇抗靜電材料，安裝防靜電地板、靜電消除設備，并確保工作人員穿著適當的防靜電服裝。
空氣過濾系統：安裝高效的空氣過濾系統，包括HEPA(高效顆粒空氣過濾器)和ULPA(超高效顆粒空氣過濾器)等，以過濾空氣中的微粒和顆粒物，提供潔凈的工作環境。
溫濕度控制：微電子制造對溫濕度的控制要求較高。安裝恒溫恒濕系統，確保潔凈車間內的溫度和濕度穩定在適宜的范圍內。
照明設計：合理設計照明系統，確保工作區域有足夠的亮度，同時避免照明設備產生過多的熱量和顆粒物。
排水系統：設計合理的排水系統，確保排水暢通，避免水分滯留和產生細菌滋生的環境。
人員行為控制：建立明確的人員行為控制規范，包括穿戴潔凈服、戴口罩、戴手套等，避免人員對潔凈環境的污染。
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