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半導體無塵車間施工需要符合嚴格的標準和規范，以確保潔凈度和工藝要求。

半導體無塵車間的空氣凈化系統是關鍵。它包括高效過濾器、送風系統、排風系統和空氣循環系統等。施工過程中，應確保凈化系統的設計、安裝和調試符合相關的標準和規范，如ISO 14644系列標準。

應選擇符合潔凈度要求的材料。例如，墻面、天花板和地板應采用易清潔、無塵埃產生的材料，如不銹鋼板、鋁合金板、PVC地板等。此外，施工材料應符合環保要求，不會釋放有害物質。

不同工藝區域應有明確的隔離設計。根據工藝要求和潔凈度級別，采用合適的隔墻、隔離門和密封材料，確保區域之間的空氣流動不發生交叉污染。

排水系統應設計合理，確保排水暢通和無積水。排水管道應采用耐腐蝕材料，如不銹鋼或聚丙烯管道，并設置合適的斜度和防倒流裝置。

照明系統應滿足潔凈度要求，并提供足夠的照明強度。照明設備應易清潔、無塵埃產生，并且不會產生電磁干擾。

需要有效控制靜電，防止靜電對產品和設備的影響。施工過程中，應注意避免靜電產生和積聚，采取合適的防靜電措施，如使用導電地板、靜電消除裝置等。

應配備環境監測系統，用于監測溫度、濕度、潔凈度等參數。施工過程中，應確保監測系統的安裝和校準符合相關的標準和規范。

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